Modelling of electric characteristics of capacitively coupled discharges including nonlinear effects of sheaths
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F13%3A00068904" target="_blank" >RIV/00216224:14310/13:00068904 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1088/0963-0252/22/4/045016" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1088/0963-0252/22/4/045016</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1088/0963-0252/22/4/045016" target="_blank" >10.1088/0963-0252/22/4/045016</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Modelling of electric characteristics of capacitively coupled discharges including nonlinear effects of sheaths
Popis výsledku v původním jazyce
Electric characteristics of capacitively coupled discharges were calculated, including their nonlinear behaviour and generation of higher harmonic frequencies of discharge current and voltage. The discharge was modelled as a series combination of the bulk plasma, two nonlinear sheaths and a radio frequency generator. Comparison of the results of the model with an experiment is discussed. The model was used for studying the waveforms of discharge current and sheath voltages and generation of higher harmonic frequencies at a wide range of discharge parameters. Coupling of higher harmonic frequencies, discharge asymmetry and discharge voltage was demonstrated. The effects of plasma?sheath resonance and other phenomena on the discharge behaviour were shown.
Název v anglickém jazyce
Modelling of electric characteristics of capacitively coupled discharges including nonlinear effects of sheaths
Popis výsledku anglicky
Electric characteristics of capacitively coupled discharges were calculated, including their nonlinear behaviour and generation of higher harmonic frequencies of discharge current and voltage. The discharge was modelled as a series combination of the bulk plasma, two nonlinear sheaths and a radio frequency generator. Comparison of the results of the model with an experiment is discussed. The model was used for studying the waveforms of discharge current and sheath voltages and generation of higher harmonic frequencies at a wide range of discharge parameters. Coupling of higher harmonic frequencies, discharge asymmetry and discharge voltage was demonstrated. The effects of plasma?sheath resonance and other phenomena on the discharge behaviour were shown.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/ED2.1.00%2F03.0086" target="_blank" >ED2.1.00/03.0086: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2013
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Plasma Sources Sci. Technol.
ISSN
0963-0252
e-ISSN
—
Svazek periodika
22
Číslo periodika v rámci svazku
červenec
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
10
Strana od-do
045016
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—