PREPARATION AND CHARACTERIZATION OF DLC:N FILMS
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F10%3A00049718" target="_blank" >RIV/00216224:14310/10:00049718 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
PREPARATION AND CHARACTERIZATION OF DLC:N FILMS
Popis výsledku v původním jazyce
Diamond-like carbon (DLC) exhibits useful properties such as wide band gaps, high thermal conductivities, high hardness and low friction coefficient. Technical difficulties due to inherent internal stress in preparation of DLC films on metallic substrates are the cause of it's poor adhesion. Nitrogen doped diamond-like carbon (DLC:N) films were deposited by plasma enhanced chemical vapuor deposition (PECVD) using capacitively coupled rf discharge at 13.56 MHz in the mixture of methane, hydrogen and nitrogen on silicon, glass and metallic substrates (stainless steel). Gas mixture, bias and discharge frequency were changed to modify the parameters of the deposited films. The optical properties of the deposited films were investigated by: reflectometry, ellipsometry and FTIR transmittance measurement. Depth sensing indentation technique was used to determine hardness and elastic modulus.
Název v anglickém jazyce
PREPARATION AND CHARACTERIZATION OF DLC:N FILMS
Popis výsledku anglicky
Diamond-like carbon (DLC) exhibits useful properties such as wide band gaps, high thermal conductivities, high hardness and low friction coefficient. Technical difficulties due to inherent internal stress in preparation of DLC films on metallic substrates are the cause of it's poor adhesion. Nitrogen doped diamond-like carbon (DLC:N) films were deposited by plasma enhanced chemical vapuor deposition (PECVD) using capacitively coupled rf discharge at 13.56 MHz in the mixture of methane, hydrogen and nitrogen on silicon, glass and metallic substrates (stainless steel). Gas mixture, bias and discharge frequency were changed to modify the parameters of the deposited films. The optical properties of the deposited films were investigated by: reflectometry, ellipsometry and FTIR transmittance measurement. Depth sensing indentation technique was used to determine hardness and elastic modulus.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2010
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
2nd International Conference Nanocon 2010
ISBN
978-80-87294-19-2
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
7
Strana od-do
434-440
Název nakladatele
TANGER Ltd.
Místo vydání
Olomouc
Místo konání akce
Olomouc
Datum konání akce
1. 1. 2010
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
000286656400077