Complex analysis of SiOxCyHz films deposited by an atmospheric pressure dielectric barrier discharge
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F11%3A00052854" target="_blank" >RIV/00216224:14310/11:00052854 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2011.03.124" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2011.03.124</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2011.03.124" target="_blank" >10.1016/j.surfcoat.2011.03.124</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Complex analysis of SiOxCyHz films deposited by an atmospheric pressure dielectric barrier discharge
Popis výsledku v původním jazyce
SiOx films are deposited with an atmospheric pressure dielectric barrier discharge (apDBD) using Ar, O2 and different precursor gases (HMDSO and Silane).An experimental study on the influence of the discharge operation parameters on the chemical composition of the deposited films and the vertical structure over the film thickness is carried out by means of SEM, EDX, and ATR?FTIR.
Název v anglickém jazyce
Complex analysis of SiOxCyHz films deposited by an atmospheric pressure dielectric barrier discharge
Popis výsledku anglicky
SiOx films are deposited with an atmospheric pressure dielectric barrier discharge (apDBD) using Ar, O2 and different precursor gases (HMDSO and Silane).An experimental study on the influence of the discharge operation parameters on the chemical composition of the deposited films and the vertical structure over the film thickness is carried out by means of SEM, EDX, and ATR?FTIR.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Ostatní
Rok uplatnění
2011
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Surface & Coatings Technology
ISSN
0257-8972
e-ISSN
—
Svazek periodika
205
Číslo periodika v rámci svazku
257
Stát vydavatele periodika
CH - Švýcarská konfederace
Počet stran výsledku
5
Strana od-do
"S330"-"S334"
Kód UT WoS článku
000293258600071
EID výsledku v databázi Scopus
—