Higher harmonic frequencies in capacitive discharges and their using for monitoring of plasma processing
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F12%3A00061370" target="_blank" >RIV/00216224:14310/12:00061370 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Higher harmonic frequencies in capacitive discharges and their using for monitoring of plasma processing
Popis výsledku v původním jazyce
Waveforms of discharges voltage and current and their changes due to changes of plasma parameters were studied recently. Mainly the sensitive reaction of Fourier components of discharge voltage to presence of deposited or etched thin films showed up as an useful diagnostic method of plasma processing.
Název v anglickém jazyce
Higher harmonic frequencies in capacitive discharges and their using for monitoring of plasma processing
Popis výsledku anglicky
Waveforms of discharges voltage and current and their changes due to changes of plasma parameters were studied recently. Mainly the sensitive reaction of Fourier components of discharge voltage to presence of deposited or etched thin films showed up as an useful diagnostic method of plasma processing.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/ED2.1.00%2F03.0086" target="_blank" >ED2.1.00/03.0086: Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2012
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Potential and Application of Surface Nanotreatment of Polymers and Glass: Book of Extended Abstrakts 2012
ISBN
9788021059795
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
2
Strana od-do
124-125
Název nakladatele
Masaryk University
Místo vydání
Brno
Místo konání akce
Brno
Datum konání akce
1. 1. 2012
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—