ENVIRONMENTAL STABILITY OF NITROGEN CONTAINING PLASMA-POLYMERIZED HEXAMETHYLDISILOXANE FILMS
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F18%3A00101810" target="_blank" >RIV/00216224:14310/18:00101810 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
ENVIRONMENTAL STABILITY OF NITROGEN CONTAINING PLASMA-POLYMERIZED HEXAMETHYLDISILOXANE FILMS
Popis výsledku v původním jazyce
Nitrogen incorporated organosilicon films were prepared by means of plasma enhanced chemical vapor deposition using capacitively coupled RF glow discharges in mixtures of hexamethyldisiloxane and nitrogen. The flow rate of nitrogen was 2-10 sccm and the flow rate of hexamethyldisiloxane was 0.3-0.4 sccm. The power supply of CCP was 50 W. The environmental stability of the deposited films was studied using confocal microscopy, spectroscopic ellipsometry and FTIR (Fourier Transform Infrared Spectroscopy). The humidity induced structure changes resulted in substantial change of mechanical properties of the studied films. The mechanical properties were studied using nanoindentation techniques.
Název v anglickém jazyce
ENVIRONMENTAL STABILITY OF NITROGEN CONTAINING PLASMA-POLYMERIZED HEXAMETHYLDISILOXANE FILMS
Popis výsledku anglicky
Nitrogen incorporated organosilicon films were prepared by means of plasma enhanced chemical vapor deposition using capacitively coupled RF glow discharges in mixtures of hexamethyldisiloxane and nitrogen. The flow rate of nitrogen was 2-10 sccm and the flow rate of hexamethyldisiloxane was 0.3-0.4 sccm. The power supply of CCP was 50 W. The environmental stability of the deposited films was studied using confocal microscopy, spectroscopic ellipsometry and FTIR (Fourier Transform Infrared Spectroscopy). The humidity induced structure changes resulted in substantial change of mechanical properties of the studied films. The mechanical properties were studied using nanoindentation techniques.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
—
OECD FORD obor
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2018
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
9TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOMATERIALS - RESEARCH & APPLICATION (NANOCON 2017)
ISBN
9788087294819
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
842-847
Název nakladatele
TANGER Ltd
Místo vydání
Brno
Místo konání akce
Brno
Datum konání akce
18. 10. 2017
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
000452823300140