PREPARATION OF PPHMDSO THIN FILMS IN CAPACITIVELY COUPLED RF GLOW DISCHARGES UNDER DUSTY PLASMA CONDITIONS
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F18%3A00108254" target="_blank" >RIV/00216224:14310/18:00108254 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://invenio.nusl.cz/record/387685" target="_blank" >https://invenio.nusl.cz/record/387685</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
PREPARATION OF PPHMDSO THIN FILMS IN CAPACITIVELY COUPLED RF GLOW DISCHARGES UNDER DUSTY PLASMA CONDITIONS
Popis výsledku v původním jazyce
The deposition of organosilicone thin films from mixture of hexamethyldisiloxane (HMDSO) and oxygen by using capacitively coupled R.F. glow discharges under dusty plasma conditions was investigated. High resolution topography and mechanical property maps of the prepared films were acquired by using atomic force microscopy techniques. The chemical bond and composition of the deposited films were analyzed by Fourier transform infrared spectroscopy (FTIR) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The mechanical properties of the films were studied using quasistatic as well as dynamic nanoindentation tests and their surface free energies were evaluated by means of contact angle measuring technique using several testing liquids exhibiting various surface tensions. The thermal stability of the films was studied using thermal desorption spectroscopy. Neural network modelling was used to study the effect of plasma parameters on the hardness of ppHMDSO films.
Název v anglickém jazyce
PREPARATION OF PPHMDSO THIN FILMS IN CAPACITIVELY COUPLED RF GLOW DISCHARGES UNDER DUSTY PLASMA CONDITIONS
Popis výsledku anglicky
The deposition of organosilicone thin films from mixture of hexamethyldisiloxane (HMDSO) and oxygen by using capacitively coupled R.F. glow discharges under dusty plasma conditions was investigated. High resolution topography and mechanical property maps of the prepared films were acquired by using atomic force microscopy techniques. The chemical bond and composition of the deposited films were analyzed by Fourier transform infrared spectroscopy (FTIR) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The mechanical properties of the films were studied using quasistatic as well as dynamic nanoindentation tests and their surface free energies were evaluated by means of contact angle measuring technique using several testing liquids exhibiting various surface tensions. The thermal stability of the films was studied using thermal desorption spectroscopy. Neural network modelling was used to study the effect of plasma parameters on the hardness of ppHMDSO films.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
—
OECD FORD obor
21000 - Nano-technology
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2018
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
9TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOMATERIALS - RESEARCH & APPLICATION (NANOCON 2017)
ISBN
9788087294819
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
5
Strana od-do
831-835
Název nakladatele
TANGER LTD
Místo vydání
SLEZSKA
Místo konání akce
Brno, CZECH REPUBLIC
Datum konání akce
18. 10. 2017
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
000452823300138