Predictive simulation of antenna effect in PVD processes using fluid models
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F19%3A00113069" target="_blank" >RIV/00216224:14310/19:00113069 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S0257897219310369" target="_blank" >https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S0257897219310369</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2019.125045" target="_blank" >10.1016/j.surfcoat.2019.125045</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Predictive simulation of antenna effect in PVD processes using fluid models
Popis výsledku v původním jazyce
We present numerical simulation of an ion-based physical vapor deposition coating process on a realistic part. The simulation is performed using a fluid model. By correlating the simulated ion flux to the surface of the coated part with experimentally measured thickness of the coating at the same conditions, it is shown that the model is capable of capturing the so-called antenna effect (edge effect). This local increase of coating thickness close to sharp edges of the part is a consequence of the plasma sheath of a negatively biased coated part. Additionally, we assess the sensitivity of the model to the boundary conditions imposed.
Název v anglickém jazyce
Predictive simulation of antenna effect in PVD processes using fluid models
Popis výsledku anglicky
We present numerical simulation of an ion-based physical vapor deposition coating process on a realistic part. The simulation is performed using a fluid model. By correlating the simulated ion flux to the surface of the coated part with experimentally measured thickness of the coating at the same conditions, it is shown that the model is capable of capturing the so-called antenna effect (edge effect). This local increase of coating thickness close to sharp edges of the part is a consequence of the plasma sheath of a negatively biased coated part. Additionally, we assess the sensitivity of the model to the boundary conditions imposed.
Klasifikace
Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
20501 - Materials engineering
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/LM2018097" target="_blank" >LM2018097: Centrum výzkumu a vývoje plazmatu a nanotechnologických povrchových úprav</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2019
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
SURFACE & COATINGS TECHNOLOGY
ISSN
0257-8972
e-ISSN
—
Svazek periodika
379
Číslo periodika v rámci svazku
DEC 15 2019
Stát vydavatele periodika
CH - Švýcarská konfederace
Počet stran výsledku
7
Strana od-do
1-7
Kód UT WoS článku
000498752500001
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-85073114651