Revisiting particle dynamics in HiPIMS discharges. II. Plasma pulse effects

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F20%3A00114257" target="_blank" >RIV/00216224:14310/20:00114257 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://aip.scitation.org/doi/10.1063/5.0009380" target="_blank" >http://aip.scitation.org/doi/10.1063/5.0009380</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1063/5.0009380" target="_blank" >10.1063/5.0009380</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Revisiting particle dynamics in HiPIMS discharges. II. Plasma pulse effects

Popis výsledku v původním jazyce

A detailed experimental study of high power impulse magnetron sputtering discharges is performed using time-resolved ground state density mapping of the sputtered neutrals and ions. This Paper deals with the effects related to the plasma-on phase and can be considered as an extension of Paper I being published simultaneously. The influence of plasma pulse duration, pulse energy, gas pressure as well as molecular oxygen admixture on the spatial and temporal particle density evolution is examined. Special attention is given to the temporal evolution of the ionization fraction distribution of the sputtered atoms. In addition, the 2D vector maps reflecting particle propagation, sputtering, and ionization in the discharge volume are also presented and discussed, similarly to the first part of this study [J. Appl. Phys. 128, 043303 (2020)].

Název v anglickém jazyce

Revisiting particle dynamics in HiPIMS discharges. II. Plasma pulse effects

Popis výsledku anglicky

A detailed experimental study of high power impulse magnetron sputtering discharges is performed using time-resolved ground state density mapping of the sputtered neutrals and ions. This Paper deals with the effects related to the plasma-on phase and can be considered as an extension of Paper I being published simultaneously. The influence of plasma pulse duration, pulse energy, gas pressure as well as molecular oxygen admixture on the spatial and temporal particle density evolution is examined. Special attention is given to the temporal evolution of the ionization fraction distribution of the sputtered atoms. In addition, the 2D vector maps reflecting particle propagation, sputtering, and ionization in the discharge volume are also presented and discussed, similarly to the first part of this study [J. Appl. Phys. 128, 043303 (2020)].

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Rok uplatnění

2020

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Applied Physics

ISSN

0021-8979

e-ISSN

1089-7550

Svazek periodika

128

Číslo periodika v rámci svazku

4

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

12

Strana od-do

1-12

Kód UT WoS článku

000557312900002

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85090004468