Temporal, spatial and spectroscopic study of plasma emission on Cu target in bipolar HiPIMS
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F23%3A00131367" target="_blank" >RIV/00216224:14310/23:00131367 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://doi.org/10.1088/1361-6595/ace8b8" target="_blank" >https://doi.org/10.1088/1361-6595/ace8b8</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1088/1361-6595/ace8b8" target="_blank" >10.1088/1361-6595/ace8b8</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Temporal, spatial and spectroscopic study of plasma emission on Cu target in bipolar HiPIMS
Popis výsledku v původním jazyce
Bipolar high power impulse magnetron sputtering introduces new possibilities to affect positive ions created during the negative discharge pulse in order to tailor thin films with specific parameters. This paper studies plasma emission in different experimental conditions during different phases of the positive pulse with spectral, spatial and temporal resolution. It is found that predominantly the working gas gives rise to plasma emission during the positive pulse. The plasma emission is observed only in regions of low magnetic confinement, forming a 'mushroom-like' shape in the middle of the target or a 'dome-like' shape on the outer parts of the target. An explanation of the discharge kinetics is proposed based on the acquired data.
Název v anglickém jazyce
Temporal, spatial and spectroscopic study of plasma emission on Cu target in bipolar HiPIMS
Popis výsledku anglicky
Bipolar high power impulse magnetron sputtering introduces new possibilities to affect positive ions created during the negative discharge pulse in order to tailor thin films with specific parameters. This paper studies plasma emission in different experimental conditions during different phases of the positive pulse with spectral, spatial and temporal resolution. It is found that predominantly the working gas gives rise to plasma emission during the positive pulse. The plasma emission is observed only in regions of low magnetic confinement, forming a 'mushroom-like' shape in the middle of the target or a 'dome-like' shape on the outer parts of the target. An explanation of the discharge kinetics is proposed based on the acquired data.
Klasifikace
Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2023
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Plasma Sources Science and Technology
ISSN
0963-0252
e-ISSN
1361-6595
Svazek periodika
32
Číslo periodika v rámci svazku
7
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
8
Strana od-do
1-8
Kód UT WoS článku
001041303300001
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-85167692741