Plasma parameters in positive voltage pulses of bipolar HiPIMS discharge determined by Langmuir probe with a sub-microsecond time resolution

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F20%3A00534023" target="_blank" >RIV/68378271:_____/20:00534023 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/49777513:23520/20:43959303

Výsledek na webu

<a href="https://doi.org/10.1088/1361-6595/aba773" target="_blank" >https://doi.org/10.1088/1361-6595/aba773</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1088/1361-6595/aba773" target="_blank" >10.1088/1361-6595/aba773</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Plasma parameters in positive voltage pulses of bipolar HiPIMS discharge determined by Langmuir probe with a sub-microsecond time resolution

Popis výsledku v původním jazyce

We have determined the local plasma parameters using the Langmuir probe measurements with a sub-microsecond time resolution during positive voltage pulses of a bipolar high-power impulse magnetron sputtering discharge using an unbalanced magnetron with a titanium target. The effects of the positive voltage pulse amplitude and the delay between the negative voltage pulse end and the positive voltage pulse initiation are investigated as well as the spatial dependence of the plasma parameters at three distances from the target. From the results, the values of the average energy flux of ions during the positive voltage pulse to the substrate are estimated. We have found that the time evolution of the plasma parameters has similar developments which are independent of the positive voltage pulse parameters and the distance from the target, although the values of the plasma parameters are different.

Název v anglickém jazyce

Plasma parameters in positive voltage pulses of bipolar HiPIMS discharge determined by Langmuir probe with a sub-microsecond time resolution

Popis výsledku anglicky

We have determined the local plasma parameters using the Langmuir probe measurements with a sub-microsecond time resolution during positive voltage pulses of a bipolar high-power impulse magnetron sputtering discharge using an unbalanced magnetron with a titanium target. The effects of the positive voltage pulse amplitude and the delay between the negative voltage pulse end and the positive voltage pulse initiation are investigated as well as the spatial dependence of the plasma parameters at three distances from the target. From the results, the values of the average energy flux of ions during the positive voltage pulse to the substrate are estimated. We have found that the time evolution of the plasma parameters has similar developments which are independent of the positive voltage pulse parameters and the distance from the target, although the values of the plasma parameters are different.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Projekt

<a href="/cs/project/FV30177" target="_blank" >FV30177: Výzkum a vývoj nových pulzních plazmových technologií pro depozici pokročilých tenkovrstvých materiálů</a><br>

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2020

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Plasma Sources Science & Technology

ISSN

0963-0252

e-ISSN

—

Svazek periodika

29

Číslo periodika v rámci svazku

8

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

11

Strana od-do

1-11

Kód UT WoS článku

000568418000001

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85092265900