Relationship Between AFM and Optical Measurements at Analyzing Surface Roughness

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F99%3A00002111" target="_blank" >RIV/00216224:14310/99:00002111 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Relationship Between AFM and Optical Measurements at Analyzing Surface Roughness

Popis výsledku v původním jazyce

In this paper a comparison of the values of the basic surface roughness parameters determined by atomic force microscopy and a combined optical method is performed for a chosen sample of SiO2-film with identically randomly rough boundaries placed onto asilicon single crystal wafer. The combined optical method is based on simultaneous interpretation of the experimental data corresponding to variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry. It is shown that the comparison of the results achieved using both the methods mentioned can be successfully performed if the influence influence of individual spatial frequencies of the harmonic components of random surface roughness on the optical quantities measured is based into account.

Název v anglickém jazyce

Relationship Between AFM and Optical Measurements at Analyzing Surface Roughness

Popis výsledku anglicky

In this paper a comparison of the values of the basic surface roughness parameters determined by atomic force microscopy and a combined optical method is performed for a chosen sample of SiO2-film with identically randomly rough boundaries placed onto asilicon single crystal wafer. The combined optical method is based on simultaneous interpretation of the experimental data corresponding to variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry. It is shown that the comparison of the results achieved using both the methods mentioned can be successfully performed if the influence influence of individual spatial frequencies of the harmonic components of random surface roughness on the optical quantities measured is based into account.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

1999

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Jemná mechanika a optika

ISSN

0447-6441

e-ISSN

—

Svazek periodika

44

Číslo periodika v rámci svazku

10

Stát vydavatele periodika

CZ - Česká republika

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—