Simultaneous determination of dispersion model parameters and local thickness of thin films by imaging spectrophotometry
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14740%2F15%3A00080452" target="_blank" >RIV/00216224:14740/15:00080452 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/00216305:26210/15:PU114477
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2015.01.093" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2015.01.093</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2015.01.093" target="_blank" >10.1016/j.apsusc.2015.01.093</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Simultaneous determination of dispersion model parameters and local thickness of thin films by imaging spectrophotometry
Popis výsledku v původním jazyce
A least-squares data fitting procedure is developed for the analysis of measurements of thin films non-uniform in thickness by imaging spectroscopic reflectometry. It solves the problem of simultaneous least-squares fitting of film thicknesses in all image pixels together with shared dispersion model parameters. Since the huge number of mutually correlated fitting parameters prevents a straightforward application of the standard Levenberg-Marquardt algorithm, the presented procedure exploits the special structure of the specific least-squares problem. The free parameters are split into thicknesses and dispersion model parameters. Both groups of parameters are fitted alternately, utilising an unmodified Levenberg-Marquardt algorithm, correcting however the thicknesses during the dispersion model fitting step to preserve effective optical thicknesses.
Název v anglickém jazyce
Simultaneous determination of dispersion model parameters and local thickness of thin films by imaging spectrophotometry
Popis výsledku anglicky
A least-squares data fitting procedure is developed for the analysis of measurements of thin films non-uniform in thickness by imaging spectroscopic reflectometry. It solves the problem of simultaneous least-squares fitting of film thicknesses in all image pixels together with shared dispersion model parameters. Since the huge number of mutually correlated fitting parameters prevents a straightforward application of the standard Levenberg-Marquardt algorithm, the presented procedure exploits the special structure of the specific least-squares problem. The free parameters are split into thicknesses and dispersion model parameters. Both groups of parameters are fitted alternately, utilising an unmodified Levenberg-Marquardt algorithm, correcting however the thicknesses during the dispersion model fitting step to preserve effective optical thicknesses.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2015
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Applied Surface Science
ISSN
0169-4332
e-ISSN
—
Svazek periodika
350
Číslo periodika v rámci svazku
SEP
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
7
Strana od-do
149-155
Kód UT WoS článku
000359166600026
EID výsledku v databázi Scopus
—