MEMS Carbon Nanotubes Field Emission Pressure Sensor With Simplified Design: Performance and Field Emission Properties Study
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14740%2F15%3A00080659" target="_blank" >RIV/00216224:14740/15:00080659 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/00216305:26620/15:PU110876
Výsledek na webu
<a href="http://ieeexplore.ieee.org/xpl/articleDetails.jsp?reload=true&arnumber=6933922" target="_blank" >http://ieeexplore.ieee.org/xpl/articleDetails.jsp?reload=true&arnumber=6933922</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1109/JSEN.2014.2363213" target="_blank" >10.1109/JSEN.2014.2363213</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
MEMS Carbon Nanotubes Field Emission Pressure Sensor With Simplified Design: Performance and Field Emission Properties Study
Popis výsledku v původním jazyce
The pressure sensor application gained recently substantial interest in many fields of basic and applied research and applications. In this paper, microelectromechanical system (MEMS)-based pressure sensor contains nanostructured electrode consisting ofcarbon nanotube (CNT) array. CNTs are directly grown on such electrode by plasma-enhanced chemical vapor deposition method using microwave plasma torch at atmospheric pressure. This growth method enables us to use a simple electrode structure without need of buffer layer and time-consuming lithography process. Combination of CNTs field emission and MEMS membrane mechanical properties make possible to enhance sensitivity of the sensor. Field emission properties of CNTs are measured by newly developed system enabling us precise measurement of expecting properties, such as dependence on diaphragm (upper electrode) distance, applied voltage, and stability of the sensor.
Název v anglickém jazyce
MEMS Carbon Nanotubes Field Emission Pressure Sensor With Simplified Design: Performance and Field Emission Properties Study
Popis výsledku anglicky
The pressure sensor application gained recently substantial interest in many fields of basic and applied research and applications. In this paper, microelectromechanical system (MEMS)-based pressure sensor contains nanostructured electrode consisting ofcarbon nanotube (CNT) array. CNTs are directly grown on such electrode by plasma-enhanced chemical vapor deposition method using microwave plasma torch at atmospheric pressure. This growth method enables us to use a simple electrode structure without need of buffer layer and time-consuming lithography process. Combination of CNTs field emission and MEMS membrane mechanical properties make possible to enhance sensitivity of the sensor. Field emission properties of CNTs are measured by newly developed system enabling us precise measurement of expecting properties, such as dependence on diaphragm (upper electrode) distance, applied voltage, and stability of the sensor.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2015
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
IEEE Sensors Journal
ISSN
1530-437X
e-ISSN
—
Svazek periodika
15
Číslo periodika v rámci svazku
3
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
7
Strana od-do
1430-1436
Kód UT WoS článku
000346743600016
EID výsledku v databázi Scopus
—