Analysis of pulsed laser deposited amorphous chalcogenide film thickness distribution: Plume deflection angle dependence

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216275%3A25310%2F18%3A39912468" target="_blank" >RIV/00216275:25310/18:39912468 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="https://doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2017.11.022" target="_blank" >https://doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2017.11.022</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2017.11.022" target="_blank" >10.1016/j.jnoncrysol.2017.11.022</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Analysis of pulsed laser deposited amorphous chalcogenide film thickness distribution: Plume deflection angle dependence

Popis výsledku v původním jazyce

Pulsed laser deposition exploiting a KrF excimer laser was used to fabricate amorphous As-S thin films from bulk As2S3 glass target. Thickness profile of the film was extracted from variable angle spectroscopic ellipsometry data. The dependence of thickness distribution of prepared thin layer on laser beam plume deflection angle was evaluated and corresponding equations were suggested.

Název v anglickém jazyce

Analysis of pulsed laser deposited amorphous chalcogenide film thickness distribution: Plume deflection angle dependence

Popis výsledku anglicky

Pulsed laser deposition exploiting a KrF excimer laser was used to fabricate amorphous As-S thin films from bulk As2S3 glass target. Thickness profile of the film was extracted from variable angle spectroscopic ellipsometry data. The dependence of thickness distribution of prepared thin layer on laser beam plume deflection angle was evaluated and corresponding equations were suggested.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Projekt

<a href="/cs/project/GA16-17921S" target="_blank" >GA16-17921S: Heterostruktury založené na chalkogenidech pro nelineární optiku a optické senzory</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2018

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Non-Crystalline Solids

ISSN

0022-3093

e-ISSN

—

Svazek periodika

481

Číslo periodika v rámci svazku

February

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

3

Strana od-do

409-411

Kód UT WoS článku

000423646200057

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85034077639