Tloušťkové rozložení amorfních chalkogenidových filmů připravených pulzní laserovou depozicí
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216275%3A25310%2F08%3A00007556" target="_blank" >RIV/00216275:25310/08:00007556 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Thickness Distribution of Amorphous Chalcogenide Films Prepared by Pulsed Laser Deposition.
Popis výsledku v původním jazyce
Amorphous chalcogenide thin films were prepared from As2Se3, As3Se2 and InSe bulk glasses by pulsed laser deposition using a KrF excimer laser. Thickness profiles of the films were determined using variable angle spectroscopic ellipsometry. The influenceof the laser beam scanning process during the deposition on the thickness distribution of the prepared thin films was evaluated and the corresponding equations suggested. The results were compared with experimental data.
Název v anglickém jazyce
Thickness Distribution of Amorphous Chalcogenide Films Prepared by Pulsed Laser Deposition.
Popis výsledku anglicky
Amorphous chalcogenide thin films were prepared from As2Se3, As3Se2 and InSe bulk glasses by pulsed laser deposition using a KrF excimer laser. Thickness profiles of the films were determined using variable angle spectroscopic ellipsometry. The influenceof the laser beam scanning process during the deposition on the thickness distribution of the prepared thin films was evaluated and the corresponding equations suggested. The results were compared with experimental data.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2008
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Applied Physics A-Materials Science & Procesing
ISSN
0947-8396
e-ISSN
—
Svazek periodika
93
Číslo periodika v rámci svazku
3
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—