Ellipsometric characterisation of thin films non-uniform in thickness

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F48399108%3A_____%2F11%3A%230000016" target="_blank" >RIV/48399108:_____/11:#0000016 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/00216224:14310/11:00050721

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Ellipsometric characterisation of thin films non-uniform in thickness

Popis výsledku v původním jazyce

Ellipsometric formulae for thin films non-uniform in thickness are presented. A general type of thickness nonuniformity is considered and the influence of the varying angle of incidence is taken into account. The presented formulae are applied to the optical characterisation of polymer SiO2-like thin films exhibiting a relatively strong thickness non-uniformity. It is shown that the complete optical characterisation of these polymer thin films can be performed. Thus, the spectral dependences of the optical constants, mean thickness and parameters related to the shape of thickness non-uniformity can be determined.

Název v anglickém jazyce

Ellipsometric characterisation of thin films non-uniform in thickness

Popis výsledku anglicky

Ellipsometric formulae for thin films non-uniform in thickness are presented. A general type of thickness nonuniformity is considered and the influence of the varying angle of incidence is taken into account. The presented formulae are applied to the optical characterisation of polymer SiO2-like thin films exhibiting a relatively strong thickness non-uniformity. It is shown that the complete optical characterisation of these polymer thin films can be performed. Thus, the spectral dependences of the optical constants, mean thickness and parameters related to the shape of thickness non-uniformity can be determined.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/FT-TA5%2F114" target="_blank" >FT-TA5/114: Vývoj technologie vytváření PECVD vrstev pro výrobu automobilové světelné techniky</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2011

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Thin Solid Films

ISSN

0040-6090

e-ISSN

—

Svazek periodika

519

Číslo periodika v rámci svazku

9

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

3

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—