Variable-angle spectroscopic ellipsometry of considerably non-uniform thin films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F11%3A00050732" target="_blank" >RIV/00216224:14310/11:00050732 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://iopscience.iop.org/2040-8986/13/8/085705/" target="_blank" >http://iopscience.iop.org/2040-8986/13/8/085705/</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1088/2040-8978/13/8/085705" target="_blank" >10.1088/2040-8978/13/8/085705</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Variable-angle spectroscopic ellipsometry of considerably non-uniform thin films

Popis výsledku v původním jazyce

A theoretical approach for including considerable thickness non-uniformity of thin films into the formulae employed within variable-angle spectroscopic ellipsometry is presented. It is based on a combination of the efficient formulae derived for the thickness distribution density corresponding to a wedge-shaped non-uniformity with dependences of the mean thickness and root mean square (rms) of thickness differences on the angle of incidence that take into account the real non-uniformity of the shape. These dependences are derived using momentum expansion of the thickness distribution density. The derived formulae are tested by means of numerical analysis. An application of this approach is illustrated using the optical characterization of a selected sample of non-uniform SiOxCyHz thin films using phase-modulated ellipsometry.

Název v anglickém jazyce

Variable-angle spectroscopic ellipsometry of considerably non-uniform thin films

Popis výsledku anglicky

A theoretical approach for including considerable thickness non-uniformity of thin films into the formulae employed within variable-angle spectroscopic ellipsometry is presented. It is based on a combination of the efficient formulae derived for the thickness distribution density corresponding to a wedge-shaped non-uniformity with dependences of the mean thickness and root mean square (rms) of thickness differences on the angle of incidence that take into account the real non-uniformity of the shape. These dependences are derived using momentum expansion of the thickness distribution density. The derived formulae are tested by means of numerical analysis. An application of this approach is illustrated using the optical characterization of a selected sample of non-uniform SiOxCyHz thin films using phase-modulated ellipsometry.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2011

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Optics

ISSN

2040-8978

e-ISSN

—

Svazek periodika

13

Číslo periodika v rámci svazku

8

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

10

Strana od-do

"nestránkováno"

Kód UT WoS článku

000294294500018

EID výsledku v databázi Scopus

—