Monitoring of surface homogeneity of optical parameters of thin films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F00%3A00000354" target="_blank" >RIV/00216305:26210/00:00000354 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Monitoring of surface homogeneity of optical parameters of thin films

Popis výsledku v původním jazyce

The paper deals with a design and ex situ testing of an advanced version of the spectral reflectance monitoring technique based on the applications of a broad source of polychromatic (white) light and CCD camera. The results and experience achieved during ex situ experiments proved that the method is convenient for the in situ quasi-real time monitoring of surface homogeneity of optical parameters of thin films during their growth.

Název v anglickém jazyce

Monitoring of surface homogeneity of optical parameters of thin films

Popis výsledku anglicky

The paper deals with a design and ex situ testing of an advanced version of the spectral reflectance monitoring technique based on the applications of a broad source of polychromatic (white) light and CCD camera. The results and experience achieved during ex situ experiments proved that the method is convenient for the in situ quasi-real time monitoring of surface homogeneity of optical parameters of thin films during their growth.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2000

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Micro Materials - Micro Mat 2000, Berlin

ISBN

3-932434-15-3

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

—

Název nakladatele

Micro Materials - Micro Mat 2000, Berlin

Místo vydání

Berlín, SNR

Místo konání akce

—

Datum konání akce

—

Typ akce podle státní příslušnosti

—

Kód UT WoS článku

—