Konstrukce elipsometru pro měření tenkých vrstev a povrchů.

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F01%3APU22034" target="_blank" >RIV/00216305:26210/01:PU22034 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Konstrukce elipsometru pro měření tenkých vrstev a povrchů.
Popis výsledku v původním jazyce
Tato práce se zabývá konstrukcí a testováním elipsometrů určených pro in situ monitorování povrchů a tenkých vrstev. Kromě dvouvlného elipsometru je zde prezentována také verze spektroskopická. Provedená měření tloušťky leptaných vrstev SiO2 demonstrujívýhody spektroskopické metody.
Název v anglickém jazyce
Design of an Ellipsometer For Thin Films and Surface Measurement.
Popis výsledku anglicky
This paper dals with a design and testing of ellipsometers suitable for in situ monitoring of surfaces and thin films. In addition to two-wavelength ellipsometr, a spectroscopic version of the instrument is presented as well. A good performance of the spectroscopic ellipsometer is demonstrated for monitoring thicness of SiO2 films in etching experiments.

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—

Projekt
<a href="/cs/project/PG98377" target="_blank" >PG98377: Iontově svazkové technologie a analýza povrchů a tenkých vrstev</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2001
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)