Ellipsometry - a tool for surface and thin film analysis

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F01%3APU22613" target="_blank" >RIV/00216305:26210/01:PU22613 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Ellipsometry - a tool for surface and thin film analysis

Popis výsledku v původním jazyce

To study optical properties of solid surfaces under high temperatures we have designed an UHV apparatus consisting of an analytical chamber and a load chamber. The analytical chamber is pumped down by an ion pump to an ultimate background pressure of 10-7?10-8 Pa. Inside the chamber there is a manipulator carrying the substrate holder and oven designed for sample heating up to 1000&#61616;C. The ellipsometer setup (angle of incidence is 67.5°) is fixed to two windows of the chamber. The paper deals witth a basic description of theory, design and testing of a spectroscopic ellipsometer with the light halogen source in a wavelength interval of 350-750 nm and a simple fiber optical spectrometer with a diode array as a detector (Ocean Optics S 2000).

Název v anglickém jazyce

Ellipsometry - a tool for surface and thin film analysis

Popis výsledku anglicky

To study optical properties of solid surfaces under high temperatures we have designed an UHV apparatus consisting of an analytical chamber and a load chamber. The analytical chamber is pumped down by an ion pump to an ultimate background pressure of 10-7?10-8 Pa. Inside the chamber there is a manipulator carrying the substrate holder and oven designed for sample heating up to 1000&#61616;C. The ellipsometer setup (angle of incidence is 67.5°) is fixed to two windows of the chamber. The paper deals witth a basic description of theory, design and testing of a spectroscopic ellipsometer with the light halogen source in a wavelength interval of 350-750 nm and a simple fiber optical spectrometer with a diode array as a detector (Ocean Optics S 2000).

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/PG98377" target="_blank" >PG98377: Iontově svazkové technologie a analýza povrchů a tenkých vrstev</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2001

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Juniormat '01 sborník

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

102-105

Název nakladatele

Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Brno,VUT-FSI

Datum konání akce

19. 9. 2001

Typ akce podle státní příslušnosti

CST - Celostátní akce

Kód UT WoS článku

—