Deposition of Ultrathin Films - Optimalisation of Ion Beam Optics
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F01%3APU22621" target="_blank" >RIV/00216305:26210/01:PU22621 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Deposition of Ultrathin Films - Optimalisation of Ion Beam Optics
Popis výsledku v původním jazyce
Direct Ion Beam Deposition is an advanced method for processing of thin films. Apparatus for this technique was developed in the Institute of Physical Engineering. The experiments with direct ion beam deposition showed necessity of improving ion optics.In this contribution, some results of ion beam optimization are presented and discussed.
Název v anglickém jazyce
Deposition of Ultrathin Films - Optimalisation of Ion Beam Optics
Popis výsledku anglicky
Direct Ion Beam Deposition is an advanced method for processing of thin films. Apparatus for this technique was developed in the Institute of Physical Engineering. The experiments with direct ion beam deposition showed necessity of improving ion optics.In this contribution, some results of ion beam optimization are presented and discussed.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2001
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Juniormat '01 sborník
ISBN
—
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
2
Strana od-do
281-282
Název nakladatele
Fakulta strojního inženýrství VUT v Brně
Místo vydání
Brno
Místo konání akce
Brno,VUT-FSI
Datum konání akce
19. 9. 2001
Typ akce podle státní příslušnosti
CST - Celostátní akce
Kód UT WoS článku
—