Iontový zdroj typu Colutron

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26620%2F13%3APR27684" target="_blank" >RIV/00216305:26620/13:PR27684 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2013-08/" target="_blank" >http://surfaces.fme.vutbr.cz/laboratories/developed-instruments/2013-08/</a>
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Iontový zdroj typu Colutron
Popis výsledku v původním jazyce
Iontový zdroj je zařízení pro tvorbu fokusovaného iontového svazku používaného při analýzách, čištění nebo depozicích tenkých vrstev. Navržený zdroj je založen na komerční výbojové komoře firmy Colutron Research Corporation (nyní Beam Imaging Solutions),ke které byly navrženy a realizovány podpůrné systémy (nosný, chladící, elektrický, extrakční a fokusační).
Název v anglickém jazyce
Colutron type ion source
Popis výsledku anglicky
Ion source is a device for formation of focused ion beam for various applications in analysis, cleaning or deposition of thin films. Ion source is based on commercial discharge chamber of the Colutron company (now Beam Imaging Solutions), supplemented bycarrying, cooling, electrical, extraction and focusing systems.

Rok uplatnění
2013
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu
Colutron
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Tvorba iontových svazků plynů s energií 100eV ? 3000eV a proudech do 20 microA, o pološířce svazku 1 ? 20mm. Připojovací rozměr vakuového systému DN100. Chlazení vodou (průtok min. 3l/min), žhavení vlákna zdroj 10V/20A, výbojové napětí zdroj 150V/1A, napájení extrakční elektrody zdroj 3000V/10 mA, napájení fokusační elektrody zdroj 3000V/10mA.
Ekonomické parametry
Náklady na výrobu byly 65 000Kč. Doba vývoje zařízení a následná optimalizace přesáhla několik set hodin.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
00216305
Název vlastníka
Ústav fyzikálního inženýrství
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—

Podobné výsledky(10)