Funkční vzorek bezkontaktního korekčního nástroje na principu fokusace IBF

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61389021%3A_____%2F21%3A00549777" target="_blank" >RIV/61389021:_____/21:00549777 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/68081731:_____/21:00549777
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Funkční vzorek bezkontaktního korekčního nástroje na principu fokusace IBF
Popis výsledku v původním jazyce
Funkční vzorek elektrostatického fokusačního nástroje určený pro použití v iontových leštičkách. Iontový svazek vystupující z iontového zdroje je průchodem skrz fokusační nástroj působením elektrostatických čoček fokusován do leštícího spotu s pološířkou FWHM okolo 1 mm umožňují 3D korigování s velkým laterálním rozlišením. Napájení elektrostatických čoček je zabezpečeno vysokonapěťovým zdrojem stejnosměrného napětí s výkonem 25 W v rozmezí 0 až +1250 V (brzdný režim).
Název v anglickém jazyce
Functional sample of a non-contact correction tool based on focused IBF
Popis výsledku anglicky
Functional sample of an electrostatic focusing tool designed for use in ion beam polishers. The ion beam leaving the ion source is focused at passing through focusing tool by the action of electrostatic lenses into a polishing spot with a FWHM of about 1 mm, allowing 3D correction with high lateral resolution. The power supply of electrostatic lenses is provided by a high-voltage DC source with a power of 25 W in the range of 0 to +1250 V (braking mode).

Projekt
<a href="/cs/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Centrum elektronové a fotonové optiky</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2021
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu
TN01000008/02-V009
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Délka nástroje = 43 mm, Průměr nástroje = 98 mm, Počet elektrod: 3, Pracovní vzdálenost: 5 mm, Rozsah napětí: + 0 až +1250 V (brzdný režim), Parametry iontového zdroje: Beam 1000 V, Acc -500 V, průtok plynu Ar 1,5 sccm, výkon RF zdroje 75 W
Ekonomické parametry
Nejsou vyčísleny
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
61389021
Název vlastníka
Ústav fyziky plazmatu AV ČR, v. v. i.
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—

Podobné výsledky(10)