Optical characterization of thin films non-uniform in thickness by a multiple-wavelength reflectance method

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F02%3APU29548" target="_blank" >RIV/00216305:26210/02:PU29548 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/00216224:14310/02:00007060

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Optical characterization of thin films non-uniform in thickness by a multiple-wavelength reflectance method

Popis výsledku v původním jazyce

An original method enabling us to characterize the non-uniformity of thin-film thickness is decribed. This method employs the interpretation of data obtained by multiple-wavelength reflectometry. The values of the reflectance are measured for several wavelengths in many points lying along the area of the film. The spectral dependence of the refractive index of the material forming the film is determined using variable-angle spectroscopic ellipsometry.

Název v anglickém jazyce

Optical characterization of thin films non-uniform in thickness by a multiple-wavelength reflectance method

Popis výsledku anglicky

An original method enabling us to characterize the non-uniformity of thin-film thickness is decribed. This method employs the interpretation of data obtained by multiple-wavelength reflectometry. The values of the reflectance are measured for several wavelengths in many points lying along the area of the film. The spectral dependence of the refractive index of the material forming the film is determined using variable-angle spectroscopic ellipsometry.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2002

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Surface and Interface Analysis

ISSN

0142-2421

e-ISSN

—

Svazek periodika

34

Číslo periodika v rámci svazku

1

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

660-663

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—