Měření mechanických vlastností tenkých vrstev pomocí nanokomprese

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F09%3APU86378" target="_blank" >RIV/00216305:26210/09:PU86378 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Měření mechanických vlastností tenkých vrstev pomocí nanokomprese

Popis výsledku v původním jazyce

Meření mechanických vlastností mikrometrických objektů stále není běžná záležitost. Tato práce popisuje možnost meření mechanických vlastností tenkých vrstev použitím nanokomprese. Válcové vzorky s osou kolmou k rovině tenké vrstvy byly připraveny pomocífokusovaného iontového svazku. Tyto vzorky byly deformovány pomocí nanoindentoru s plochým hrotem. Byly získány kompresní křivky, ze které je možno přímo měřit mez kluzu a deformační zpevnění. Pro stanovení Youngova modulu je třeba použít analýzu pomocímetody konečných prvků. Je ukázáno, že Youngův modul lze stanovit docela přesně, ačkoliv geomtrie vzorků není dokonalá

Název v anglickém jazyce

Determination of mechanical properties of thin films by nanocompresion

Popis výsledku anglicky

Measurements of mechanical properties of objects with micrometric (or even smaller) dimensions is still not a common task. In this paper, the possibility of evaluation basic mechanical properties of a thin film by nanocompression is demonstrated. Cylindrical specimens with the axis normal to the film plane, attached by the bottom to the substrate, are prepared by the focused ion beam technique. Such pillars are deformed by a nanoindenter outfitted by a flat diamond punch. An equivalent of compression curve is obtained. It is possible to measure directly parameters as the yield stress, stress at a chosen strain level or work hardening rate. Finite elements modelling is necessary for the Young modulus evaluation. It is shown that the Young modulus can beevaluated quite precisely, even if the geometry of the pillar is not perfect.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JR - Ostatní strojírenství

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Engineering mechanics 2009

ISBN

978-80-86246-35-2

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

7

Strana od-do

—

Název nakladatele

Neuveden

Místo vydání

Neuveden

Místo konání akce

Svratka

Datum konání akce

11. 5. 2009

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—