Laser-induced surface acoustic waves for thin film characterization

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61989592%3A15310%2F20%3A73601977" target="_blank" >RIV/61989592:15310/20:73601977 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/68378271:_____/20:00537574

Výsledek na webu

<a href="https://ojs.cvut.cz/ojs/index.php/APP/article/view/6686/5729" target="_blank" >https://ojs.cvut.cz/ojs/index.php/APP/article/view/6686/5729</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.14311/APP.2020.27.0057" target="_blank" >10.14311/APP.2020.27.0057</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Laser-induced surface acoustic waves for thin film characterization

Popis výsledku v původním jazyce

Knowledge of mechanical properties of thin films is essential for most of their applications.However, their determination can be problematic for very thin films. LAW (Laser-induced acousticwaves) is a combined acousto-optic method capable of measuring films with thickness from fewnanometers. It utilizes ultrasound surface waves which are excited via short laser pulses and detectedby a PVDF foil. Properties such as Young’s modulus, Poisson’s ratio and density of both the film andthe substrate as well as film thickness can be explored.Results from the LAW method are successfullycompared with nanoindentation for Young’s modulus evaluation and with optical method for filmthickness evaluation and also with literature data. Application of LAW for anisotropy mapping ofmaterials with cubic crystallographic lattice is also demonstrated

Název v anglickém jazyce

Laser-induced surface acoustic waves for thin film characterization

Popis výsledku anglicky

Knowledge of mechanical properties of thin films is essential for most of their applications.However, their determination can be problematic for very thin films. LAW (Laser-induced acousticwaves) is a combined acousto-optic method capable of measuring films with thickness from fewnanometers. It utilizes ultrasound surface waves which are excited via short laser pulses and detectedby a PVDF foil. Properties such as Young’s modulus, Poisson’s ratio and density of both the film andthe substrate as well as film thickness can be explored.Results from the LAW method are successfullycompared with nanoindentation for Young’s modulus evaluation and with optical method for filmthickness evaluation and also with literature data. Application of LAW for anisotropy mapping ofmaterials with cubic crystallographic lattice is also demonstrated

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

—

OECD FORD obor

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2020

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

14th International conference on Local mechanical properties - LMP 2019

ISBN

978-80-01-06735-2

ISSN

2336-5382

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

57-61

Název nakladatele

ČVUT v Praze

Místo vydání

Praha

Místo konání akce

Praha

Datum konání akce

6. 11. 2019

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—