Flexible foils formed by a prolonged electron beam irradiation in scanning electron microscope

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F17%3APU124079" target="_blank" >RIV/00216305:26210/17:PU124079 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2017.06.236" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2017.06.236</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2017.06.236" target="_blank" >10.1016/j.apsusc.2017.06.236</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Flexible foils formed by a prolonged electron beam irradiation in scanning electron microscope

Popis výsledku v původním jazyce

The ubiquitous presence of hydrocarbon contamination on solid surfaces alters their inherent physical properties and complicates the surface analyses. An irradiation of sample surface with electron beam can lead to the chemical transformation of the hydrocarbon layer to carbon films, which are flexible and capable of acting as a barrier for chemical etching of an underlying material. The growth of these foils is limited by supply of hydrocarbons to the writing beam position rather than the electron dose or electron beam current. The prepared films can find their applications in fabrication of surface nanostructures without a need of an electron sensitive resist material.

Název v anglickém jazyce

Flexible foils formed by a prolonged electron beam irradiation in scanning electron microscope

Popis výsledku anglicky

The ubiquitous presence of hydrocarbon contamination on solid surfaces alters their inherent physical properties and complicates the surface analyses. An irradiation of sample surface with electron beam can lead to the chemical transformation of the hydrocarbon layer to carbon films, which are flexible and capable of acting as a barrier for chemical etching of an underlying material. The growth of these foils is limited by supply of hydrocarbons to the writing beam position rather than the electron dose or electron beam current. The prepared films can find their applications in fabrication of surface nanostructures without a need of an electron sensitive resist material.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2017

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Applied Surface Science

ISSN

0169-4332

e-ISSN

1873-5584

Svazek periodika

423

Číslo periodika v rámci svazku

1

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

538-541

Kód UT WoS článku

000410607500063

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85021339389