Screen-printed nano-grain tin oxide films for micro-hotplate gas sensors

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F03%3APU38706" target="_blank" >RIV/00216305:26220/03:PU38706 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Screen-printed nano-grain tin oxide films for micro-hotplate gas sensors

Popis výsledku v původním jazyce

We report on the deposition of screen-printed tin oxide films to fabricate micromachined gas sensors. While in drop-coated or screen-printed devices the deposition of the sensing layer is usually the last step of the process, here the screen-printing wasmade before the backside silicon etching. This procedure avoids damaging the sensor membrane during the active layer deposition, which results in a excellent yield. Results on the morphology and gas sensitivity of the sensors developed are shown and disscussed.

Název v anglickém jazyce

Screen-printed nano-grain tin oxide films for micro-hotplate gas sensors

Popis výsledku anglicky

We report on the deposition of screen-printed tin oxide films to fabricate micromachined gas sensors. While in drop-coated or screen-printed devices the deposition of the sensing layer is usually the last step of the process, here the screen-printing wasmade before the backside silicon etching. This procedure avoids damaging the sensor membrane during the active layer deposition, which results in a excellent yield. Results on the morphology and gas sensitivity of the sensors developed are shown and disscussed.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA102%2F00%2F0939" target="_blank" >GA102/00/0939: Integrované inteligentní mikrosenzory a mikrosystémy</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

4th Conference on Electronic Devices

ISBN

84-607-6771-X

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

1

Strana od-do

145-145

Název nakladatele

Instituto de Microelectrónika de Barcelona CNM-CSIC

Místo vydání

Calella de la Costa, Barcelona, Spain

Místo konání akce

Barcelona

Datum konání akce

12. 2. 2003

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—