Early Access Tools - Integration of TCAD Tools and Fabrication

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F03%3APU39341" target="_blank" >RIV/00216305:26220/03:PU39341 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Early Access Tools - Integration of TCAD Tools and Fabrication

Popis výsledku v původním jazyce

To develop a powerful TCAD( Technology CAD ) package the two main problems are to be solved. The first one is to extract device model parameter values from front-end technological parameters. The second problem to be solved is to calibrate TCAD softwareto specific tools and process modules to give a fast, accurate and reliable method of evaluating and optimizing process conditions without the need to run numerous test wafers. At present the exploitation of the TCAD tools to solve these problems is undder study, and it seems to be just the beginning of a path that provides a new realm of highly accurate device performance modeling. The approaches to integrate process, device and circuit simulation TCAD tools are reviewed and examples to solve these problems by leading TCAD vendors are presented.

Název v anglickém jazyce

Early Access Tools - Integration of TCAD Tools and Fabrication

Popis výsledku anglicky

To develop a powerful TCAD( Technology CAD ) package the two main problems are to be solved. The first one is to extract device model parameter values from front-end technological parameters. The second problem to be solved is to calibrate TCAD softwareto specific tools and process modules to give a fast, accurate and reliable method of evaluating and optimizing process conditions without the need to run numerous test wafers. At present the exploitation of the TCAD tools to solve these problems is undder study, and it seems to be just the beginning of a path that provides a new realm of highly accurate device performance modeling. The approaches to integrate process, device and circuit simulation TCAD tools are reviewed and examples to solve these problems by leading TCAD vendors are presented.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA102%2F03%2F0720" target="_blank" >GA102/03/0720: Identifikace parametrů modelů polovodičových struktur</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Electronic Devices and Systems 2003 - Proceedings

ISBN

80-214-2452-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

270-275

Název nakladatele

Novotný-Brno

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Brno

Datum konání akce

9. 9. 2003

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—