Kalibrace vychylovacího pole litografu řady BS600 využitím režimu REM

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F04%3APU41293" target="_blank" >RIV/00216305:26220/04:PU41293 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Kalibrace vychylovacího pole litografu řady BS600 využitím režimu REM

Popis výsledku v původním jazyce

Text se zabývá kalibrací vychylovacího pole litografu BS600 a BS601 upraveného v rámci projektu Elito s využitím režimu rastrovacího elektronového mikroskopu.

Název v anglickém jazyce

Calibration of the deflection field of the E-beam lithograph BS600 series using SEM mode

Popis výsledku anglicky

Text describes a new method for the calibration of geometric distortion of deflection field. This method uses a regime of scanning electron microscope (SEM), which was added to electron beam lithographs BS600 and BS601 in project ELITO. The main advantage of this method was the reduction of the time required to calibrate the lithograph.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení Elektronové optiky na počátku roku 2004

ISBN

80-239-2268-8

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

15-18

Název nakladatele

Ústav přístrojové techniky AV ČR, Brno

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Brno

Datum konání akce

30. 1. 2004

Typ akce podle státní příslušnosti

CST - Celostátní akce

Kód UT WoS článku

—