Kalibrace vychylovacího pole litografu využitím režimu REM

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F04%3APU41513" target="_blank" >RIV/00216305:26220/04:PU41513 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Calibration of the Deflection Field of the Lithograph Using SEM Mode

Popis výsledku v původním jazyce

A new method for the calibration of geometric distortion of deflection field is presented. This method uses a regime of scanning electron microscope (SEM), which was added to electron beam lithographs BS600 and BS601 in project ELITO. The main advantageof this method was the reduction of the time required to calibrate the lithograph.

Název v anglickém jazyce

Calibration of the Deflection Field of the Lithograph Using SEM Mode

Popis výsledku anglicky

A new method for the calibration of geometric distortion of deflection field is presented. This method uses a regime of scanning electron microscope (SEM), which was added to electron beam lithographs BS600 and BS601 in project ELITO. The main advantageof this method was the reduction of the time required to calibrate the lithograph.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

10. konference EEICT

ISBN

80-214-2636-5

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

570-574

Název nakladatele

VUT v Brně

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Brno

Datum konání akce

29. 6. 2004

Typ akce podle státní příslušnosti

CST - Celostátní akce

Kód UT WoS článku

—