Pozorování vícevrstvých polovodičových struktur v rastrovacím elektronovém mikroskopu

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F05%3APU52236" target="_blank" >RIV/00216305:26220/05:PU52236 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/68081731:_____/05:00022834

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Observation of Multilayer Semiconductor Structures in the Scanning Electron Microscope

Popis výsledku v původním jazyce

Scanning Electron Microscopes (SEMs) have been used for various applications in the semiconductor industry. Observation of the cross section of semiconductor devices can give important information about the layer structure, film thicknesses and the defects localization. The way to obtain more information about the multilayer semiconductor structure is observation using SEM with various detection modes. The aim of this contribution is to give information about the detection modes used to the visualizatioon of semiconductor structures in the SEM.

Název v anglickém jazyce

Observation of Multilayer Semiconductor Structures in the Scanning Electron Microscope

Popis výsledku anglicky

Scanning Electron Microscopes (SEMs) have been used for various applications in the semiconductor industry. Observation of the cross section of semiconductor devices can give important information about the layer structure, film thicknesses and the defects localization. The way to obtain more information about the multilayer semiconductor structure is observation using SEM with various detection modes. The aim of this contribution is to give information about the detection modes used to the visualizatioon of semiconductor structures in the SEM.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of IMAPS CS International Conference 2005

ISBN

80-214-2990-9

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

3

Strana od-do

248-250

Název nakladatele

Vysoké učení technické v Brně

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Brno

Datum konání akce

15. 9. 2005

Typ akce podle státní příslušnosti

CST - Celostátní akce

Kód UT WoS článku

—