Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Pozorování vícevrstvých polovodičových struktur v SEM pomocí různých detekčních modů

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F05%3A00022412" target="_blank" >RIV/68081731:_____/05:00022412 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    SEM Observation of Multilayer Semiconductor Structures Using Different Detection Modes

  • Popis výsledku v původním jazyce

    Specimen observation using various detection systems offers more information about examined object than using just one detector. The scintillation detector of backscattered electrons is particularly useful for semiconductor specimen observation. This detector can provide material contrast of specimen and defects in semiconductor structures can be recognized.

  • Název v anglickém jazyce

    SEM Observation of Multilayer Semiconductor Structures Using Different Detection Modes

  • Popis výsledku anglicky

    Specimen observation using various detection systems offers more information about examined object than using just one detector. The scintillation detector of backscattered electrons is particularly useful for semiconductor specimen observation. This detector can provide material contrast of specimen and defects in semiconductor structures can be recognized.

Klasifikace

  • Druh

    D - Stať ve sborníku

  • CEP obor

    JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    <a href="/cs/project/GA102%2F05%2F0886" target="_blank" >GA102/05/0886: Výzkum detekčních systémů pravých sekundárních elektronů v nově koncipovaném environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu</a><br>

  • Návaznosti

    P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2005

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název statě ve sborníku

    Proceedings - Microscopy Conference 2005 - Dreiländertagung /6./

  • ISBN

    1019-6447

  • ISSN

  • e-ISSN

  • Počet stran výsledku

    1

  • Strana od-do

    339

  • Název nakladatele

    Paul Scherrer Institute

  • Místo vydání

    Villigen

  • Místo konání akce

    Davos

  • Datum konání akce

    28. 8. 2005

  • Typ akce podle státní příslušnosti

    WRD - Celosvětová akce

  • Kód UT WoS článku