Pozorování vícevrstvých polovodičových struktur v SEM pomocí různých detekčních modů
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F05%3A00022412" target="_blank" >RIV/68081731:_____/05:00022412 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
SEM Observation of Multilayer Semiconductor Structures Using Different Detection Modes
Popis výsledku v původním jazyce
Specimen observation using various detection systems offers more information about examined object than using just one detector. The scintillation detector of backscattered electrons is particularly useful for semiconductor specimen observation. This detector can provide material contrast of specimen and defects in semiconductor structures can be recognized.
Název v anglickém jazyce
SEM Observation of Multilayer Semiconductor Structures Using Different Detection Modes
Popis výsledku anglicky
Specimen observation using various detection systems offers more information about examined object than using just one detector. The scintillation detector of backscattered electrons is particularly useful for semiconductor specimen observation. This detector can provide material contrast of specimen and defects in semiconductor structures can be recognized.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GA102%2F05%2F0886" target="_blank" >GA102/05/0886: Výzkum detekčních systémů pravých sekundárních elektronů v nově koncipovaném environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2005
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Proceedings - Microscopy Conference 2005 - Dreiländertagung /6./
ISBN
1019-6447
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
1
Strana od-do
339
Název nakladatele
Paul Scherrer Institute
Místo vydání
Villigen
Místo konání akce
Davos
Datum konání akce
28. 8. 2005
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—