Allan variance analysis on MEMS tilt sensors with different principles of operation

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F11%3APU94759" target="_blank" >RIV/00216305:26220/11:PU94759 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Allan variance analysis on MEMS tilt sensors with different principles of operation

Popis výsledku v původním jazyce

Tilt sensing is an important part in absolute position and orientation measurement, e.g. inertial navigation units and tilt detectors. In this paper, the direct comparison of three MEMS tilt sensors with different principle of operation has been carriedout and evaluated using Allan Variance (AV) method. Selected samples represent major principles used in MEMS accelerometers on the market - capacitive Analog Devices ADXL203, thermal MEMSIC MXA6500M and piezoresistive Panasonic AGS61231. All devices havesimilar measurement range and acceleration sensitivity. The results of AV analysis show similar behavior and curve shape in capacitive principle, with the lowest acceleration random walk observed, and in thermal principle, with six times higher bias instability in compare with capacitive principle. The piezoresistive principle has lower velocity random walk, but it is very sensitive to temperature variations, seen in long cluster times.

Název v anglickém jazyce

Allan variance analysis on MEMS tilt sensors with different principles of operation

Popis výsledku anglicky

Tilt sensing is an important part in absolute position and orientation measurement, e.g. inertial navigation units and tilt detectors. In this paper, the direct comparison of three MEMS tilt sensors with different principle of operation has been carriedout and evaluated using Allan Variance (AV) method. Selected samples represent major principles used in MEMS accelerometers on the market - capacitive Analog Devices ADXL203, thermal MEMSIC MXA6500M and piezoresistive Panasonic AGS61231. All devices havesimilar measurement range and acceleration sensitivity. The results of AV analysis show similar behavior and curve shape in capacitive principle, with the lowest acceleration random walk observed, and in thermal principle, with six times higher bias instability in compare with capacitive principle. The piezoresistive principle has lower velocity random walk, but it is very sensitive to temperature variations, seen in long cluster times.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JB - Senzory, čidla, měření a regulace

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/ED1.1.00%2F02.0068" target="_blank" >ED1.1.00/02.0068: CEITEC - central european institute of technology</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Rok uplatnění

2011

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

2011 IEEE SENSORS Proceedings

ISBN

978-1-4244-9288-6

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

1685-1688

Název nakladatele

IEEE

Místo vydání

Limerick, Ireland

Místo konání akce

Limerick

Datum konání akce

28. 10. 2011

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—