Membrána bolometru pro detekci IR záření

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F16%3APR28806" target="_blank" >RIV/00216305:26220/16:PR28806 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=124" target="_blank" >http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=124</a>
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Membrána bolometru pro detekci IR záření
Popis výsledku v původním jazyce
Membrána bolometru pro detekci IR záření je vyrobena na křemíkovém substrátu pomocí CMOS kompatibilních procesů. Nejdůležitější snímací část je tvořena se z membrány (SiO2), uvnitř které je integrován odporový meandr (Ti). Při dopadu IR záření na snímací element dojde k jeho ohřátí, a to vyvolá změnu odporu. Tepelné ztráty do substrát jsou minimalizovány díky tenkým nohám, na kterých je membrána zavěšena.
Název v anglickém jazyce
Bolometer membrane for IR detection
Popis výsledku anglicky
The membrane of the bolometer to detect IR radiation is fabricated on a silicon substrate using CMOS compatible processes. The most important part of the sensor is made up of the membrane (SiO2), inside which is integrated resistive meander (Ti). When the impact of the IR radiation of the sensing element is heating, and a change in resistance. Heat losses are minimized thanks to the substrate with a thin feet, on which is a membrane suspended.

Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2016
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu
Bolometr 1. generace
Číselná identifikace
129405
Technické parametry
Velikost membrány: 40x40 µm Odpor bolometru: (7.735 ± 0.254) kΩ Teplotní součinitel elektrického odporu: (0.53 ± 0.01) 10-3 K-1 Tepelná kapacita: (3.113 ± 0.009) nJ K-1 Teplotní vodivost: (160.9 ± 2.7) nW K-1 Časová konstanta: (19.35 ± 0.34) ms Funkční vzorek byl na základě získaných poznatků zkonstruován a ověřen. Je využíván na pracovišti řešitele LabSensNano (VUT v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií, Ústav mikroelektroniky, Technická 3058/10, 616 00 Brno, Česká republika).
Ekonomické parametry
náklady na výrobu cca 500 000 Kč
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
—
Název vlastníka
oddělení-MEL-SIX
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=124

Podobné výsledky(10)