100 pixelový MEMS s bolometry
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F17%3APR29138" target="_blank" >RIV/00216305:26220/17:PR29138 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=132" target="_blank" >http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=132</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
100 pixelový MEMS s bolometry
Popis výsledku v původním jazyce
Design řádkového detektoru pro snímání IR záření byl vytvořen pomocí skriptovacího kódu v NanoLithography Toolbox. Ukázka designu je zobrazena na obrázku níže vlevo. Bylo vytvořeno 100 měřicích bolometrů (pixelů) a 10 referenčních. Membrány bolometru (jednotlivé pixely) slouží pro detekci IR záření a jsou vyrobeny na křemíkovém substrátu pomocí CMOS kompatibilních procesů. Nejdůležitější snímací část je tvořena z membrány (SiO2), uvnitř které je integrován odporový meandr (Ti). Při dopadu IR záření na snímací element dojde k jeho ohřátí, a to vyvolá změnu odporu. Tepelné ztráty do substrátu jsou minimalizovány díky tenkým nohám, na kterých je membrána zavěšena (viz snímek z optického mikroskopu vpravo).
Název v anglickém jazyce
100 pixels MEMS with bolometers
Popis výsledku anglicky
The design of the line detector for IR sensing was generated using the scripting code in the NanoLithography Toolbox. A sample of the design is shown in the image below on the left. 100 bolometers (pixels) for measurement and 10 reference bolometers were created. Bolometer membranes (individual pixels) are used to detect IR radiation and are made on a silicon substrate using CMOS compatible processes. The most important sensing part is made of a membrane (SiO2) inside which is integrated a resistance temperature detector (Ti). When the IR radiation falls on the sensor element, it will heat up, causie a change of resistance. Heat losses to the substrate are minimized due to the thin legs on which the membrane is suspended.
Klasifikace
Druh
G<sub>funk</sub> - Funkční vzorek
CEP obor
—
OECD FORD obor
20201 - Electrical and electronic engineering
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2017
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
Řádek bolometru
Číselná identifikace
142000
Technické parametry
Počet pixelů: 100 měřicích a 10 referenčních Počet padů: 21 Velikost membrány: ≈ 40x40 µm Odpor bolometru: ≈ 8 - 10 kΩ
Ekonomické parametry
náklady na výrobu cca 300 000 Kč
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
—
Název vlastníka
oddělení-MEL-SIX
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=132