Membrány bolometru 2. generace

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F16%3APR29015" target="_blank" >RIV/00216305:26220/16:PR29015 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=131" target="_blank" >http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=131</a>

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Membrány bolometru 2. generace

Popis výsledku v původním jazyce

Design membrán bolometrů druhé generace byl vytvořen pomocí skriptovacího kódu v NanoLithography Toolbox. Bylo vytvořeno několik velikostí čtvercových membrán, a to s rozměry strany membrány 17.5 µm, 25 µm, 30 µm a 40 µm. Membrány bolometru slouží pro detekci IR záření a jsou vyrobeny na křemíkovém substrátu pomocí CMOS kompatibilních procesů. Nejdůležitější snímací část je tvořena se z membrány (SiO2), uvnitř které je integrován odporový meandr (Ti). Při dopadu IR záření na snímací element dojde k jeho ohřátí, a to vyvolá změnu odporu. Tepelné ztráty do substrátu jsou minimalizovány díky tenkým nohám, na kterých je membrána zavěšena. Pro snížení teplotní časové konstanty τ je zúžena a prodloužena noha vedoucí k membráně bolometru. Byl také přidán výrobní krok pro vytvoření závěsů, které zabraňují podleptání bolometrů do stran.

Název v anglickém jazyce

The bolometer membranes of 2. generation

Popis výsledku anglicky

The design of bolometer membranes of second generation was created by using the scripting NanoLithography Toolbox. Several sizes of square membranes, with dimensions of by membrane 17.5 µm, 25 µm, 30 µm and 40 µm membranes of the bolometer is used to detect IR radiation and are made on a silicon substrate using CMOS compatible processes. The most important part of the sensor is fabricated of the membrane (SiO2), inside which is integrated resistive meander (Ti). When the impact of the IR radiation of the sensing element is heating, and a change in resistance. Heat loss into the substrate are minimized thanks to the thin feet, on which is a membrane suspended. To reduce the thermal time constants is reduced and extended leg leading to the membrane of the bolometer. He was also added to the production step to create a trenches to prevent underetching of bolometers to the sides.

Druh

G_funk - Funkční vzorek

CEP obor

JB - Senzory, čidla, měření a regulace

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2016

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu

Bolometr_2_gen

Číselná identifikace

134158

Technické parametry

Velikost membrány: ≈ 17.5x17.5 µm - 40x40 µm Odpor bolometru: ≈ 8 - 17 kΩ Teplotní součinitel elektrického odporu: ≈ 3.5 10-3 K-1

Ekonomické parametry

náklady na výrobu cca 300 000 Kč

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

—

Název vlastníka

oddělení-MEL-SIX

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=131