Modeling Electrostatic MEMS Actuator
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F21%3APU142731" target="_blank" >RIV/00216305:26220/21:PU142731 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/60162694:G43__/21:00557742
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Modeling Electrostatic MEMS Actuator
Popis výsledku v původním jazyce
The paper deals with a mathematical model of electrostatic MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) actuator with an associated mechanical system. The model mimics the behavior of a commercial MEMS-driven micromirror. It is shown that the electric port of the electrostatic comb drive can be correctly modeled as a generic memcapacitor whose state equation describes the dynamic behavior of the cooperating mechanical subsystem. The so-called narrow-band frequency-dependent hysteresis, associated with such types of MEMS, is analyzed.
Název v anglickém jazyce
Modeling Electrostatic MEMS Actuator
Popis výsledku anglicky
The paper deals with a mathematical model of electrostatic MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) actuator with an associated mechanical system. The model mimics the behavior of a commercial MEMS-driven micromirror. It is shown that the electric port of the electrostatic comb drive can be correctly modeled as a generic memcapacitor whose state equation describes the dynamic behavior of the cooperating mechanical subsystem. The so-called narrow-band frequency-dependent hysteresis, associated with such types of MEMS, is analyzed.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
—
OECD FORD obor
20201 - Electrical and electronic engineering
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/VI20192022173" target="_blank" >VI20192022173: Robustní systém optické bezvláknové komunikace</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2021
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
2021 28th IEEE International Conference on Electronics, Circuits, and Systems (ICECS) Proceedings
ISBN
978-1-7281-8281-0
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
5
Strana od-do
1-5
Název nakladatele
IEEE
Místo vydání
Dubai, UAE
Místo konání akce
Dubai
Datum konání akce
28. 11. 2021
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—