Position Sensing of Electrostatic MEMS Actuator

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F22%3APU146754" target="_blank" >RIV/00216305:26220/22:PU146754 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/60162694:G43__/23:00558438
Výsledek na webu
<a href="https://ieeexplore.ieee.org/document/9971110" target="_blank" >https://ieeexplore.ieee.org/document/9971110</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1109/ICECS202256217.2022.9971110" target="_blank" >10.1109/ICECS202256217.2022.9971110</a>

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Position Sensing of Electrostatic MEMS Actuator
Popis výsledku v původním jazyce
The paper deals with a sensing technique for electrostatic MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) actuator with an associated mechanical system. The weight of the load and the torsional elasticity form a mechanical resonant system with a relatively high quality factor, which is prone to parasitic oscillations. The paper studies a damping feedback loop with an all-electrical sensing of the drive angular position. The sensing bridge works with any comb drive not requiring dedicated fingers to sense the position. An experimental realization of the loop with dual-axis mirror drive is presented.
Název v anglickém jazyce
Position Sensing of Electrostatic MEMS Actuator
Popis výsledku anglicky
The paper deals with a sensing technique for electrostatic MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) actuator with an associated mechanical system. The weight of the load and the torsional elasticity form a mechanical resonant system with a relatively high quality factor, which is prone to parasitic oscillations. The paper studies a damping feedback loop with an all-electrical sensing of the drive angular position. The sensing bridge works with any comb drive not requiring dedicated fingers to sense the position. An experimental realization of the loop with dual-axis mirror drive is presented.

Projekt
<a href="/cs/project/VI20192022173" target="_blank" >VI20192022173: Robustní systém optické bezvláknové komunikace</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2022
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku
2022 29th IEEE International Conference on Electronics, Circuits and Systems (ICECS 2022)
ISBN
9781665488235
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
„“-„“
Název nakladatele
IEEE
Místo vydání
Glasgow, United Kingdom
Místo konání akce
Glasgow
Datum konání akce
24. 10. 2022
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
000913346300219

Podobné výsledky(10)