Spectroscopic Observation of Plasma Deposition of Thin Silane and Siloxane Based Films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26310%2F03%3APU38240" target="_blank" >RIV/00216305:26310/03:PU38240 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Spectroscopic Observation of Plasma Deposition of Thin Silane and Siloxane Based Films

Popis výsledku v původním jazyce

The spectroscopic studies have been focused on the basic characterization of the RF discharge conditions during the films deposition. In the discharge spectra many different species has been determined. To characterize the neutral gas temperature the small amount of nitrogen has been involved into the discharge. The dependencies of the temperature and the molecular excitations in the discharge have been initially studied on the total discharge power and gas composition. The correlation among the discharrge parameters and the final layer properties will be subject of the following studies.

Název v anglickém jazyce

Spectroscopic Observation of Plasma Deposition of Thin Silane and Siloxane Based Films

Popis výsledku anglicky

The spectroscopic studies have been focused on the basic characterization of the RF discharge conditions during the films deposition. In the discharge spectra many different species has been determined. To characterize the neutral gas temperature the small amount of nitrogen has been involved into the discharge. The dependencies of the temperature and the molecular excitations in the discharge have been initially studied on the total discharge power and gas composition. The correlation among the discharrge parameters and the final layer properties will be subject of the following studies.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of 14th Symposium on Application of Plasma Processes

ISBN

80-8040-195-0

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

222-223

Název nakladatele

Slovenská akadémia ved

Místo vydání

Bratislava

Místo konání akce

Bobrovník

Datum konání akce

13. 1. 2003

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—