Fyzikální vs. chemické vlastnosti a-SiOC:H vrstev

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26310%2F07%3APU70627" target="_blank" >RIV/00216305:26310/07:PU70627 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Physical versus chemical properties of plasma-polymerized a-SiOC:H films
Popis výsledku v původním jazyce
Plasma-polymerized a-SiOC:H films were deposited from a mixture of tetravinylsilane vapor and oxygen gas at different power (0.1-10 W) and oxygen-to-total flow rate ratio (0-0.79). The Young's modulus, hardness, refractive index, extinction coefficient,and band gap of the plasma polymer were found to be controlled by the ratio between the content of carbon and oxygen atoms in films.
Název v anglickém jazyce
Physical versus chemical properties of plasma-polymerized a-SiOC:H films
Popis výsledku anglicky
Plasma-polymerized a-SiOC:H films were deposited from a mixture of tetravinylsilane vapor and oxygen gas at different power (0.1-10 W) and oxygen-to-total flow rate ratio (0-0.79). The Young's modulus, hardness, refractive index, extinction coefficient,and band gap of the plasma polymer were found to be controlled by the ratio between the content of carbon and oxygen atoms in films.

Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)