Funkční vzorek UHV-SEM/SPM platformy

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F01733214%3A_____%2F15%3A00000002" target="_blank" >RIV/01733214:_____/15:00000002 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Funkční vzorek UHV-SEM/SPM platformy

Popis výsledku v původním jazyce

Funkční vzorek vývojové platformy na bázi ultravakuového elektronového mikroskopu s komerčním rastrovacím sondovým mikroskopem (SPECS- Curlew) je sestavován. Pro tento účel byl vyvinut speciální (ultravakuově kompatibilní) tubus elektronového mikroskopu. Bylo dokončeno zhotovení, testování a optimalizace UHV-kompatibilního tubusu, skládající s UHV komorou s vnitřním magnetickým stíněním a manipulátorem osy Z. Bylo dokončeno testování analytické komory, která byla osazena čerpacím systémem a odplyněna. Z detekčních systémů, komora je osazena s „in-column“ detektorem sekundárních a zpětně odražených elektronů. Systém je vybaven rovněž zakládací komůrkou – vakuovou propustí, která usnadňuje rychlé a opakovatelné zakládání vzorků do UHV komory bez narušení ultravakuových podmínek. Součástí vyvíjené platformy je UHV kompatibilní SPM. Jedná se o rastrovací sondový mikroskop, optimalizovaný pro instalaci do vyvíjené aparatury a použití v kombinaci s elektronovým mikroskopem (SEM), který je namontován do UHV tubusu.

Název v anglickém jazyce

Functional sample of a UHV-SEM/SPM platform

Popis výsledku anglicky

A functional sample of a development platform based on a UHV electron microscope with a commercial scanning probe microscope (SPECS-Curlew) was constructed. A special (ultra-high vacuum compatible) electron microscope column was developed for this purpose. Fabrication, testing and optimization of the UHV-compatible column consisting of the UHV chamber with internal magnetic shielding and a Z-axis manipulator has been completed. The analytical chamber, equipped with a pumping system was tested and successfully evacuated. The chamber is fitted with an "in-column" detector for secondary and back-scattered electrons. The system is also equipped with a loading systém with a vacuum lock which facilitates the rapid and repeated delivery of samples into the UHV chamber without disrupting ultra-high vacuum conditions. The platform is compatible also with UHV SPM which is mounted inside the UHV chamber. This is a scanning probe microscope, optimized for installation in the apparatus and used in combination with an electron microscope (SEM).

Druh

G_funk - Funkční vzorek

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/TE01020233" target="_blank" >TE01020233: Platforma pokročilých mikroskopických a spektroskopických technik pro nano a mikrotechnologie</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2015

Kód důvěrnosti údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Interní identifikační kód produktu

UHV-SEM

Číselná identifikace

—

Technické parametry

Nagavalli S. Kiran, kiran@tescan.cz; 530 353 131

Ekonomické parametry

Funkční vzorek přístroje je základem pro vývoj vlastní vyspělý SPM, který bude kompatibilní s ultravakuovými podmínkami.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

01733214

Název vlastníka

TESCAN Brno, s.r.o.

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

—