Funkční vzorek upraveného reaktoru borové difúze s implementovaným injektorem, extraktorem a stínícími křemennými prvky pro snížení degradace křemenné trubky reaktoru a zvýšení homogenity bórem difundovaných křemíkových vrstev.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F27711170%3A_____%2F13%3A%230000031" target="_blank" >RIV/27711170:_____/13:#0000031 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Funkční vzorek upraveného reaktoru borové difúze s implementovaným injektorem, extraktorem a stínícími křemennými prvky pro snížení degradace křemenné trubky reaktoru a zvýšení homogenity bórem difundovaných křemíkových vrstev.

Popis výsledku v původním jazyce

Modifikace reaktoru borové difúze spočívá v implementaci dvouvstupového injektoru pro oddělené přivádění plynných směsí (N2, O2, BBr3, DCE) do reaktoru k zabránění chemické reakce mezi BBr3 a O2 v oblasti teplot pod 500°C, kdy dochází ke kondenzaci B2O3na stěnách křemenné trubky a následně k jejímu zkřehnutí a destrukci trubky. Křemenný stínící prvek na vstupu je sekundární ochrannou tvorby kondenzátu B2O3 u vstupu plynů a křemenný trubkový extraktor eliminuje tvorbu kondenzátu na opačné straně křemenné trubky a ve scavengeru.

Název v anglickém jazyce

A function sample of modified reactor for boron diffusion with implemented injector and extractor and with shielding quartz elements for reduction of quartz reactor tube degradation and for increasing homogeneity of Si layers diffused by boron.

Popis výsledku anglicky

Modification of reactor of boron diffusion is based on implementation of dual input injector for separate inlet of gas mixtures (N2, O2, BBr3, DCE) to reactor to prevent chemical reaction between BBr3 and O2 in area where the temperature is bellow 500°Cand where a B2O3 condensation at quartz sides and subsequently tube`s embrittlement and destruction occures. Shielding quartz element at inlet is a secondary protection from B2O3 condensate creation at gas inlet and quartz tube extractor eliminates condensate creation at opposite side of quartz tube and at scavenger.

Druh

G_funk - Funkční vzorek

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/TA01020972" target="_blank" >TA01020972: Modifikace jednotlivých technologických zařízení dávkových procesů pro zvýšení výtěžnosti výroby vysoce účinných křemíkových solárních článků s využitím modelovacích softwarů technologických procesů CFD-ACE+ a Flow Simulation.</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2013

Kód důvěrnosti údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Interní identifikační kód produktu

SV-B-rctr

Číselná identifikace

—

Technické parametry

Modifikací reaktoru borové difúze s dvouvstupovým injektorem, vstupním křemenným stínícím prvkem a křemenný trubkovým extraktorem dochází k podstatně nižšímu znečištění a celkové degradaci křemenné trubky, což má pozitivní vliv na četnost čištění reaktoru a jeho celkovou životnost (případně nutnost udržovat po celou dobu funkčnosti reaktor na teplotě nad 600°C).

Ekonomické parametry

Modifikovaný reaktor borové difúze vyžaduje nižší nároky na provoz a údržbu. Frekvence pravidelného čištění křemenné trubky se zvýší o 150 a 200% a předpokládaný nárůst životnosti trubky je minimálně 100%.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

27711170

Název vlastníka

SVCS Process Innovation s.r.o.

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

—