Injektor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F27711170%3A_____%2F13%3A%230000030" target="_blank" >RIV/27711170:_____/13:#0000030 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Injektor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech
Popis výsledku v původním jazyce
Injektor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech se používá při výrobě tenkých vrstev pro polovodičovou techniku v procesních pecích. Upravuje směr toku procesních plynů do difúzního reaktoru tak, aby na jeho chladnějších místech navstupu nedocházelo k usazování reaktantů na vnitřní straně těla difúzního reaktoru, které je tvořeno křemennou trubicí.
Název v anglickém jazyce
An Injector for modification of process gases flow direction in diffusion reactors
Popis výsledku anglicky
An injector that modifies the process gases flow direction in diffusion reactors is used in the manufacturing process of th thin layers for semiconductor technologies in process furnaces. Injector controls flow direction of process gases in diffusion reactor so that there wouldn`t appear a sedimentation of reactants in diffusion reactor`s inner side (that is made from quarty tube) at reactor`s colder parts near inlet.

Projekt
<a href="/cs/project/TA01020972" target="_blank" >TA01020972: Modifikace jednotlivých technologických zařízení dávkových procesů pro zvýšení výtěžnosti výroby vysoce účinných křemíkových solárních článků s využitím modelovacích softwarů technologických procesů CFD-ACE+ a Flow Simulation.</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2013
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Interní identifikační kód produktu
SV-DR-INJCTR
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Řešení spočívá v instalaci injektoru se stínícími clonami. Injektor je tvořen křemennou trubičkou s jedním nebo více vstupy, která odvádí a rozfukuje procesní plyny do teplejší části reaktoru. K zamezení zpětného proudění reaktantů směrem ke vstupu je nainjektor zavěšena jedna nebo více clon, které jsou tvořeny kruhovými křemennými skly. Vstupní část reaktoru může být dále odstíněna vložkou z odolnějšího materiálu (SiC).
Ekonomické parametry
V případě implementace extraktoru do vysokoteplotních pecí SVFur se předpokládá 2% nárůst ceny v segmentu oxidačních reaktorů společností SVCS Process Innovation s.r.o. Implementace tohoto funkčního vzorku v dané problematice zároveň posiluje kredit výrobce zařízení (SVCS) u svých zákazníků.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
27711170
Název vlastníka
SVCS Process Innovation s.r.o.
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—

Podobné výsledky(10)