Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Extraktor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F27711170%3A_____%2F13%3A%230000032" target="_blank" >RIV/27711170:_____/13:#0000032 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    čeština

  • Název v původním jazyce

    Extraktor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech

  • Popis výsledku v původním jazyce

    Extraktor pro úpravu toku procesních plynů v difúzních reaktorech se používá při výrobě tenkých vrstev pro polovodičovou techniku v procesních pecích. Upravuje směr toku procesních plynů a jejich reakčních zplodin tak, aby na výstupu z difúzního reaktorunedocházelo k jejich kondenzaci a následné korozi vnitřních částí pece.

  • Název v anglickém jazyce

    An Extractor for modification of process gases flow direction in diffusion reactors

  • Popis výsledku anglicky

    An extractor for modification of process gases flow direction in diffusion reactors is used in the manufacturing process of thin layers for semiconductor technologies in process furnaces. Extractor controls process gases and it`s fumes flow direction sothere was no condensation of these gases at the outlet of diffusion reactor and no subsequent corrosion of internal furnace parts would appear.

Klasifikace

  • Druh

    G<sub>funk</sub> - Funkční vzorek

  • CEP obor

    JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    <a href="/cs/project/TA01020972" target="_blank" >TA01020972: Modifikace jednotlivých technologických zařízení dávkových procesů pro zvýšení výtěžnosti výroby vysoce účinných křemíkových solárních článků s využitím modelovacích softwarů technologických procesů CFD-ACE+ a Flow Simulation.</a><br>

  • Návaznosti

    P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2013

  • Kód důvěrnosti údajů

    C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Interní identifikační kód produktu

    SV-DR-EXTR

  • Číselná identifikace

  • Technické parametry

    Řešení spočívá v novém konstrukčním provedení reaktoru a dveří na straně scavengeru, které konec reaktoru utěsní, a ve vložení křemenné trubice menšího průměru (extraktoru) do vyústky reaktoru v místě vstupu procesních plynů. Trubice extraktoru leží na dně reaktoru a vede až do prostoru mezi pracovní zónou a dveřmi ke scavengeru. Odtud odvádí reaktanty do kondenzační nádoby, kde je jejich podstatná část zachycena. Zbylá část pak odejde do odtahu s velmi omezenou možností jeho korozního napadení.

  • Ekonomické parametry

    V případě implementace extraktoru do vysokoteplotních pecí SVFur se předpokládá 2% nárůst ceny v segmentu oxidačních reaktorů společností SVCS Process Innovation s.r.o. Implementace tohoto funkčního vzorku v dané problematice zároveň posiluje kredit výrobce zařízení (SVCS) u svých zákazníků.

  • Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

  • IČO vlastníka výsledku

    27711170

  • Název vlastníka

    SVCS Process Innovation s.r.o.

  • Stát vlastníka

    CZ - Česká republika

  • Druh možnosti využití

    P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence

  • Požadavek na licenční poplatek

    Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek

  • Adresa www stránky s výsledkem