Metodika měření využití vstupních (reakčních) a výstupních (odpadních) plynných směsí pomocí hmotnostního spektrometru pro optimalizaci procesů fosforové a borové difúze.
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F27711170%3A_____%2F13%3A%230000034" target="_blank" >RIV/27711170:_____/13:#0000034 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Metodika měření využití vstupních (reakčních) a výstupních (odpadních) plynných směsí pomocí hmotnostního spektrometru pro optimalizaci procesů fosforové a borové difúze.
Popis výsledku v původním jazyce
Byla vyvinuta metodika měření využití vstupních (reakčních) a výstupních (odpadních) plynných směsí pomocí hmotnostního spektrometru pro optimalizaci procesů fosforové a borové difúze. Tato metodika optimalizuje spotřebu procesních (reakčních) plynů a chemikálií pro procesy fosforové a borové difúze.
Název v anglickém jazyce
A methodics of measurement of usage of inlet (reaction) and outlet (waste) gas mixtures with help of weight spectrometer for optimization of phospohorus and boron diffusion.
Popis výsledku anglicky
A methodics of measurement of usage of inlet (reaction) and outlet (waste) gas mixtures with help of weight spectrometer for optimization of phospohorus and boron diffusion was elaborated. This methodics optimizates the consumption of process (reaction)gas and chemicals of phosphorus and boron diffusion.
Klasifikace
Druh
N<sub>metC</sub> - Metodiky certifikované oprávněným orgánem
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/TA01020972" target="_blank" >TA01020972: Modifikace jednotlivých technologických zařízení dávkových procesů pro zvýšení výtěžnosti výroby vysoce účinných křemíkových solárních článků s využitím modelovacích softwarů technologických procesů CFD-ACE+ a Flow Simulation.</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2013
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
SVMM-03
Číslo předpisu
A-2013-12-9-SVMM-03
Technické parametry
Při aplikaci principů popsaných v dané metodice dochází při ladění procesu ke snížení počtu ladících procesních várek o 40%
Ekonomické parametry
Metodika bude sloužit jako podpůrný produkt prodeje MWPECVD zařízení. V rámci implementace certifikované metodiky do zmíněného MWPECVD zařízení očekáváme navýšení ceny tohoto zařízení cca o 4%.
Označení certifikačního orgánu
SVCS Process Innovation s.r.o., Optátova 37, Brno 637 00
Datum certifikace
—
Způsoby využití výsledku
C - Výsledek je využíván bez omezení okruhu uživatelů