Chromatic Monitoring as a PlasmaDiagnostic Technique: Application in Technological Process

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13430%2F00%3A00000562" target="_blank" >RIV/44555601:13430/00:00000562 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Chromatic Monitoring as a PlasmaDiagnostic Technique: Application in Technological Process

Popis výsledku v původním jazyce

This paper describes the application of the chromatic monitoring both laboratory and industrial plasmas. The light emitted from the nitrogen plasma generated in the different plasma sources was measured with the imaging spectrograph. The emission spectrawere reduced into data points representing the chromatic coordinates of these spectra. The data compression makes this method attractive for monitoring plasma parameters changes. The aim of this work was to test the possibility of application of chroma tic monitoring method for the plasma processing industry.

Název v anglickém jazyce

Chromatic Monitoring as a PlasmaDiagnostic Technique: Application in Technological Process

Popis výsledku anglicky

This paper describes the application of the chromatic monitoring both laboratory and industrial plasmas. The light emitted from the nitrogen plasma generated in the different plasma sources was measured with the imaging spectrograph. The emission spectrawere reduced into data points representing the chromatic coordinates of these spectra. The data compression makes this method attractive for monitoring plasma parameters changes. The aim of this work was to test the possibility of application of chroma tic monitoring method for the plasma processing industry.

Druh

A - Audiovizuální tvorba

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2000

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

ISBN

—

Místo vydání

Paris

Název nakladatele resp. objednatele

Société Francaise de Métallurgie et de Matériaux

Verze

—

Identifikační číslo nosiče

—