Application of Chromatic Monitoring as a Plasma Diagnostic Technigue
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13430%2F01%3A00001439" target="_blank" >RIV/44555601:13430/01:00001439 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Application of Chromatic Monitoring as a Plasma Diagnostic Technigue
Popis výsledku v původním jazyce
This paper describes the application of the chromatic monitoring of both laboratory and industrial plasmas. The light emitted from the nitrogen plasma generated in the different plasma sources was measured with an imaging spectrograph. The emission spectra were reduced to data points representing the chromatic coordinates of these spectra. The data compression makes this method attractive for monitoring plasma parameter changes. The aim of this work was to test the possibility of application of chromatic monitoring for plasma processing.
Název v anglickém jazyce
Application of Chromatic Monitoring as a Plasma Diagnostic Technigue
Popis výsledku anglicky
This paper describes the application of the chromatic monitoring of both laboratory and industrial plasmas. The light emitted from the nitrogen plasma generated in the different plasma sources was measured with an imaging spectrograph. The emission spectra were reduced to data points representing the chromatic coordinates of these spectra. The data compression makes this method attractive for monitoring plasma parameter changes. The aim of this work was to test the possibility of application of chromatic monitoring for plasma processing.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2001
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Marerials and Manufacturing Processes
ISSN
1042-6914
e-ISSN
—
Svazek periodika
16
Číslo periodika v rámci svazku
6
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
12
Strana od-do
863-874
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—