The Combined Study of the HMSDO Layers by RBS, ERDA and AFM Analytical Methods obtained from PECVD and PACVD

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13430%2F03%3A00002311" target="_blank" >RIV/44555601:13430/03:00002311 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

The Combined Study of the HMSDO Layers by RBS, ERDA and AFM Analytical Methods obtained from PECVD and PACVD

Popis výsledku v původním jazyce

In this work, we have studied the composition and surface morphology of the HMSDO layers produced by plasma deposition through three separate processes: a RF Inductively Coupled Plasma (RFICP), a Microwave Distributed ECR plasma, and a Microwave InducedRemote nitrogen Afterglow (MIRA). A thin layer (1000 A) and a thicker one (1 ?m) obtained from polymerisation of Hexa- and Treta-methyledisiloxane compounds to evaluate the resulting quality of the films in term of growth and sensitivity to the process type. We investigated two sets of the samples, one set prepared on the silicon substrate and the second set on the polypropylene substrate. The layer composition was investigated by Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS) and by Elastic Recoil Detection Analysis (ERDA) and the layer surface morphology was determined by AFM.

Název v anglickém jazyce

The Combined Study of the HMSDO Layers by RBS, ERDA and AFM Analytical Methods obtained from PECVD and PACVD

Popis výsledku anglicky

In this work, we have studied the composition and surface morphology of the HMSDO layers produced by plasma deposition through three separate processes: a RF Inductively Coupled Plasma (RFICP), a Microwave Distributed ECR plasma, and a Microwave InducedRemote nitrogen Afterglow (MIRA). A thin layer (1000 A) and a thicker one (1 ?m) obtained from polymerisation of Hexa- and Treta-methyledisiloxane compounds to evaluate the resulting quality of the films in term of growth and sensitivity to the process type. We investigated two sets of the samples, one set prepared on the silicon substrate and the second set on the polypropylene substrate. The layer composition was investigated by Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS) and by Elastic Recoil Detection Analysis (ERDA) and the layer surface morphology was determined by AFM.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/OC%20527.50" target="_blank" >OC 527.50: Studium tenkých polymerních vrstev pomocí AFM a rozvoj metod diagnostiky plazmatu.</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of SAPP XIV, Post Deadline Papers

ISBN

80-8040-195-0

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

214-215

Název nakladatele

Military Academy

Místo vydání

Liptovský Mikuláš

Místo konání akce

Liptovský Mikuláš

Datum konání akce

13. 1. 2003

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—