Study of dynamic processes in multi-component low-temperature plasmas
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F44555601%3A13450%2F19%3A43895376" target="_blank" >RIV/44555601:13450/19:43895376 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/00216208:11320/19:10396277
Výsledek na webu
<a href="https://reader.elsevier.com/reader/sd/pii/S0042207X18321493?token=17C510BB5C2B351B3A995DDE33A570EE76E9BE95498D91502999F747C7788C27E1953A18DCE9F7FBAFCD52977EA45E47" target="_blank" >https://reader.elsevier.com/reader/sd/pii/S0042207X18321493?token=17C510BB5C2B351B3A995DDE33A570EE76E9BE95498D91502999F747C7788C27E1953A18DCE9F7FBAFCD52977EA45E47</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2019.03.031" target="_blank" >10.1016/j.vacuum.2019.03.031</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Study of dynamic processes in multi-component low-temperature plasmas
Popis výsledku v původním jazyce
Two-dimensional particles in cells with Monte Carlo collision models are used to describe the behaviour of a plasma sheath in a multi-component plasma. An electronegative O-2/Ar plasma is assumed, and planar or cylindrical substrates are used in the simulations. The aim of the study is to clarify the influence of plasma composition, pressure and substrate geometry on sheath formation and the behaviour of charged species in both the steady-state and dynamic regimes in multi-component plasmas.
Název v anglickém jazyce
Study of dynamic processes in multi-component low-temperature plasmas
Popis výsledku anglicky
Two-dimensional particles in cells with Monte Carlo collision models are used to describe the behaviour of a plasma sheath in a multi-component plasma. An electronegative O-2/Ar plasma is assumed, and planar or cylindrical substrates are used in the simulations. The aim of the study is to clarify the influence of plasma composition, pressure and substrate geometry on sheath formation and the behaviour of charged species in both the steady-state and dynamic regimes in multi-component plasmas.
Klasifikace
Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2019
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Vacuum
ISSN
0042-207X
e-ISSN
—
Svazek periodika
neuveden
Číslo periodika v rámci svazku
164
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
308-311
Kód UT WoS článku
000467510900047
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-85063262868